华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度

华洋精机 10 月 5 日宣布携手 ZEISS（蔡司）推出面向光罩（掩膜）、先进封装、晶圆领域的高精度测量设备 COSMA-M，可提供纳米级测量精度，稳定度达 3σ＜3nm，结合配套模块可实现全自动化测量。设备应用范围覆盖 DUV 掩膜、先进封装、TGV、CPO 等领域，已获得部分潜在客户的送样验证测试。