朗道燧岩 EUV 光源系统样机在 2026 工博会首秀，国产化率达 90% 距量产仍需 3~5 年

朗道燧岩在 2026 第二十六届中国国际工业博览会首次展示极紫外（EUV）光源系统样机，据解放日报称是目前公开展示中国产进度最靠前的 EUV 光源样机。现场工作人员介绍样机国产化率达 90%，核心零部件多为自主研发，可用于芯片曝光测试，但距量产仍需 3 至 5 年，核心挑战是提升输出功率和长期运行稳定性。