朗道燧岩在工博会展出EUV光源样机FlintNano LPP-OXXO，国产化率90%

朗道燧岩（上海）科技有限公司在第二十六届中国国际工业博览会展出国产EUV光源系统样机，据称是国产进度最靠前的样机，国产化率达90%。文中给出型号FlintNano LPP-OXXO，驱动激光功率1000W，EUV能量大于15W，转换效率大于2%；文章同时介绍ASML以30KW二氧化碳激光轰击液态锡滴产生13.5nm光源的路线，认为国产样机与ASML仍有差距。