光刻机是怎么来的？飞利浦47名工程师搬进漏雨棚屋，1984年ASML起步

ASML 成立于1984年，是飞利浦与 ASM International 各出一半的合资公司，原研发团队约50名工程师中有47人加入，早期办公地点是漏雨棚屋。公司1984年推出 PAS 2000，1986年与蔡司建立合作；到1988年仍客户有限，ASM 退出合资，飞利浦又因行业低迷大规模削减开支。ASML 此后靠产品改进、合作伙伴和芯片厂商认可逐渐站稳。