江苏 HISIGK 备妥14台光刻系统交付，涉MEMS与AR光学等专用市场
China's HISIGK takes a specialty route into lithography with MEMS, AR optics
摘要快讯
DIGITIMES报道，江苏海希半导体（HISIGK）已备妥14台自动化光刻系统用于交付，覆盖300mm、200mm和150mm晶圆平台，拓展MEMS、AR光学和LED芯片等专用半导体设备市场。
推荐理由
江苏海希半导体披露14台光刻设备交付布局，覆盖MEMS、AR光学和LED芯片等专用市场，是光刻设备供应链动向信号。
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