2026年国产半导体设备盘点：首台频出，光刻与EUV仍是硬骨头
首台满天飞, 国内半导体设备到底跑到了哪一步
摘要快讯
OFweek发布2026年国产半导体设备行业分析，指出国内厂商全年密集官宣多台“国内首台”，包括串列型高能氢离子注入机POWER-750H、中国电科48所首台CDSEM、北方华创AcmeGlaion130刻蚀设备及朗道燧岩宣称本土化率90%的EUV光源样机。
推荐理由
系统梳理2026年国产半导体设备各环节本土化率与量产进度，可用于判断供应链和制造端的宏观环境变化。
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来源：OFweek · 电子工程与元器件 · ee.ofweek.com