Canon将于2026年12月初推出FPA-6400ES6a KrF光刻扫描机
Canon to launch KrF lithography scanner rated at 400 wafers per hour in December
摘要快讯
Canon于2026年11月10日宣布将于2026年12月初推出面向存储与逻辑芯片制造的KrF光刻扫描机FPA-6400ES6a，标称每小时400片晶圆产能，官方发布未给出具体发布日期、价格或出货量。
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