佳能发布KrF光刻机FPA-6400ES6a，12月上旬发售
先了解这件事
2026年11月10日，佳能宣布将发售面向存储和逻辑芯片的KrF（曝光波长248nm）扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a。据电子产品世界报道，发售时间为12月上旬，新机通过超高加速度载台实现每小时400片晶圆的曝光产能（300mm基板、96个曝光单元条件），套刻精度达到业界高水平的4.0nm，可选配新光源Hi-ALS以强化对准功能，晶圆翘曲对应量扩大至700μm，并搭载再生电力利用技术，以降低每片晶圆的耗电量。11月11日DIGITIMES报道称，佳能将于2026年12月初推出该机型，标称每小时400片晶圆产能，但官方发布未给出具体发布日期、价格或出货量。同日IT之家报道称，该机型将于2026年12月上旬发售，并提到通过再生电力利用和高效率电源降低每片晶圆曝光耗电。关于发售时间，早先报道称12月上旬发售，后续DIGITIMES报道称12月初推出且未给出具体日期，两篇报道表述略有差异。目前该机型尚未正式发售，处于发布待售阶段。
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报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
- IT之家佳能发布 KrF 半导体光刻机 FPA-6400ES6a，12 月上旬发售
佳能于 11 月 10 日宣布，面向存储和逻辑芯片的 KrF 扫描式半导体光刻机 FPA-6400ES6a 将于 2026 年 12 月上旬发售。官方称新超高加速度载台带来每小时 400 片晶圆产能，套刻精度达业界高水平的 4.0nm；可对应晶圆翘曲量扩大到 700μm，新增可选对准光源 Hi-ALS，并通过再生电力利用和高效率电源降低每片晶圆曝光耗电。
- DIGITIMES · 供应链资讯精选Canon将于2026年12月初推出FPA-6400ES6a KrF光刻扫描机
Canon于2026年11月10日宣布将于2026年12月初推出面向存储与逻辑芯片制造的KrF光刻扫描机FPA-6400ES6a，标称每小时400片晶圆产能，官方发布未给出具体发布日期、价格或出货量。
- 电子产品世界 · 行业新闻佳能发布KrF扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a，12月上旬发售
佳能于2026年11月10日宣布，将于12月上旬发售面向存储和逻辑芯片的KrF（曝光波长248nm）扫描式光刻机FPA-6400ES6a。新机通过超高加速度载台实现每小时400片晶圆曝光（300mm基板、96个曝光单元条件），套刻精度达业界高水平的4.0nm；可选配新光源Hi-ALS强化对准，可对应晶圆翘曲量扩大至700μm，并搭载再生电力利用技术降低每片晶圆耗电量。
本事件热度走势
当前热度 8·可比范围峰值 24（11月11日 17:00）·近 24 小时可比范围变化 -60%
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